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三维多光束并行加工模块
产品介绍
本模块应用在超快激光加工系统中，可将超快激光器输出的单光束分成多光束，实现三维多光束并行加工。本模块内置拥有自主知识产权的算法软件，可实时更改多个光束在三维空间的位置、数量、能量等各项参数，具备多光束能量的测量、反馈与显示功能，具备相差校正和偏振控制功能，通过算法和硬件的优化，多光束能量均一性可达90%。
产品特点
通过多光束并行加工，成倍提高超快激光加工效率，有效解决高能量超快激光器能量利用率低、加工效率低等痛点；
可用于探索超快激光在微纳加工过程中出现的各种新现象。例如：不同光斑排布对等离子体屏蔽效应的影响、偏振控制对加工效果的影响、多光束对材料内部应力场分布的影响等。
相关知识产权如下:
202010825888.8，202010825882.0
可用于探索超快激光在微纳加工过程中出现的各种新现象。例如：不同光斑排布对等离子体屏蔽效应的影响、偏振控制对加工效果的影响、多光束对材料内部应力场分布的影响等。
相关知识产权如下:
202010825888.8，202010825882.0
系统参数
| 输出光束数量 | 可达100束，动态可调 |
| 分光能量利用率 | 70%-90% |
| 能量一致性 | 90%@25束光 |
| 承受最大单脉冲能量 | 30mJ@IR |
| 适用波长范围 | IR：1000-1100nm/GRN：460-560nm |
设备案例：
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