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三维多光束并行加工模块
产品介绍

本模块应用在超快激光加工系统中,可将超快激光器输出的单光束分成多光束,实现三维多光束并行加工。本模块内置拥有自主知识产权的算法软件,可实时更改多个光束在三维空间的位置、数量、能量等各项参数,具备多光束能量的测量、反馈与显示功能,具备相差校正和偏振控制功能,通过算法和硬件的优化,多光束能量均一性可达90%。


产品特点
通过多光束并行加工,成倍提高超快激光加工效率,有效解决高能量超快激光器能量利用率低、加工效率低等痛点;
可用于探索超快激光在微纳加工过程中出现的各种新现象。例如:不同光斑排布对等离子体屏蔽效应的影响、偏振控制对加工效果的影响、多光束对材料内部应力场分布的影响等。
相关知识产权如下:
202010825888.8,202010825882.0
系统参数

输出光束数量可达100束,动态可调
分光能量利用率70%-90%
能量一致性90%@25束光
承受最大单脉冲能量30mJ@IR 
适用波长范围IR:1000-1100nm/GRN:460-560nm


设备案例:

三维多光束并行加工模块-案例图-水印.jpg

              


 


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